超凈實驗室國內(nèi)指在一定空間內(nèi)清除空氣中的顆粒物、有害空氣、細(xì)菌等污染物,控制室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲振動和照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)。也就是說,無論外部空氣如何變化,室內(nèi)都能保持原先要求的清潔度、溫度、濕度和壓力。
它的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅片)暴露在空氣中的清潔度、溫度和濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境下生產(chǎn)、制造、測試和研究。
管理制度
1.超凈室是超凈實驗室國內(nèi)樣品分離和制樣的重要場所,環(huán)境的潔凈度直接影響著數(shù)據(jù)分析的質(zhì)量。因此,未征得本室人員同意,外人不得隨意進(jìn)入。
2.本室儀器設(shè)備由工作人員使用、管理,未經(jīng)本室人員許可,其他人不得動用,更不能擅自拿出實驗室。
3.進(jìn)入本室時,必須穿專用工作服,并服從本室人員的指導(dǎo)。
4.嚴(yán)禁帶食物進(jìn)入本室,室內(nèi)禁止吸煙。
5.在實驗操作過程中,如有意外發(fā)生(如漏酸、潑酸等),必須立刻通知本室工作人員,以便及時處理。
6.要定期清洗并更換初效、中效和高效,以保證實驗室的潔凈度。
7.工作人員要定期對實驗室的潔凈度進(jìn)行測試,一旦發(fā)現(xiàn)實驗室潔凈度達(dá)不到實驗要求的標(biāo)準(zhǔn)或?qū)嶒炇冶镜自龃蟮葐栴},要立刻查明原因并及時進(jìn)行處理。
8.工作人員必須做好超凈實驗室國內(nèi)的日常維護(hù)工作。注意關(guān)好門、窗,管好水、電。